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機電設備幹式真空泵主要在什麼領域應用

機電設備幹式真空泵主要在什麼領域應用

發布日期:2018-08-15 作者:宇宙星小編 點擊:

    幹式真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子,偏心地安裝在定缸内,當轉子高速旋轉時,轉子槽内四個徑向滑動旋片将泵腔分隔成四個工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進排出口分離開來,周而複始運轉,進行變容,将吸入氣體,從排氣口排出,從而達到抽氣目的。


    由于幹式真空泵沒有真空介質(真空泵油、水等),通過幹式真空泵的氣體未受真空介質的污染。因而回收溶劑是潔淨的。這樣真空下冷凝部份轉換成常壓下冷凝,大大提高了溶劑類物料的回收率,對真空下難冷凝的物料特别有利。通過該流程配置,排放的尾氣中已基本不含有機廢氣。另外,泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程後,噪聲也大為下降。 

幹式真空泵

    幹式真空泵主要用于高純淨的真空工藝過程,真空度極高,因此可适應惡劣工礦,可處理含可凝性蒸汽的氣體,含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點,因此在石化、冶金、醫藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業将全面替代技術含量低的真空設備。


    近來,半導體芯片制造産業發展提出的要求,作為高真空泵不能有油蒸氣存在,因此無油的渦輪分子泵、複合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是,前級泵還沒有真正解決真空系統無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的幹式真空泵。但價格昂貴、運行間隙過小,很難在商業上推廣應用。國外首先研制了工業上實用的幹式真空泵,将羅茨泵進行六級串聯。之後又出現羅茨和爪型轉子組合起來的無油泵。總之,相繼出現了多種型式的幹式泵,主要應用于半導體産業。


    随着社會科技的發展,越來越多的行業,對清潔真空、環保等的需求嚴格,要求避免返油漏油的污染,因此幹式真空泵得到了快速地發展。因為起步較晚,很多企業用戶對幹式真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺杆真空泵少數幾類上。


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