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詳述幹式真空泵的定義與分類

詳述幹式真空泵的定義與分類

發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

幹式真空泵的定義

幹式真空泵很早就出現了,但沒有明确的定義。就代替油封式機械泵來說,一般通用的說法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力範圍内工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣的泵, 即稱為幹式真空泵(也稱為無油真空泵)。


幹式真空泵的分類

現在市場上提供的幹式泵種類很多。就其基本原理來分, 隻有兩類, 即:

① 容積式的無油真空泵, 例如多級羅茨泵、爪型泵、往複式活塞泵、螺杆式泵和渦旋式泵等。這種幹式泵的極限壓力一般為0.1~10Pa, 抽速為0.01~ 0.04m 3?s。

② 動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接, 在連續流狀态下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結構上采用徑向流和周向流泵的複合式結構,多級串聯抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02~0.15m 3?s。牽引型幹式泵也屬于動量傳輸式的幹式泵。

油式真空泵

 這些幹式泵和油封式機械泵相比, 達到同樣的極限壓力, 其殘餘氣體成分則全然不同,經分析結果明, 油封泵的殘餘氣體, CnHm 氣體(碳氫化合物氣體)為其主要成分, 而幹式泵的殘餘氣體為空氣的組成成分。這就證實了幹式泵的抽氣不再有油的污染了。


有些幹式泵在結構設計上, 如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油, 也有用合成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在, 嚴格來說不是全無油的泵, 但經分析, 這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。

本文網址:http://www.maacq.com/news/362.html

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