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幹式真空泵的主要應用以及冒煙、高溫的解決方法

幹式真空泵的主要應用以及冒煙、高溫的解決方法

發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

幹式真空泵在很多應用場合達到了理想的使用效果,工作容積中無油,更加耐用,可靠。

1、用于低壓化學氣相沉積中的多晶矽制備工藝中;

2、幹式真空泵用于半導體刻蝕工藝。在這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3、除半導體工藝外的某些産生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的幹式真空泵可以滿足要求;

4、幹式真空泵适用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等,防止了有機溶劑造成污染;

5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

幹式真空泵在應用中維護少,更加省時省力,同時也減少了污染的危害。


幹式無油真空泵如來果操作或維護不當,就會造成冒煙等故障,這時候我們首先要了解原因,然後找出解決方案。

1、冒煙,如果是幹式無油真空泵剛剛開始運轉有冒煙的現象,屬于正常,如果長時間在冒煙就是不正常了。

解決方法:冒煙說明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以後處理了,冒煙會結束。


2、噴油,說明進氣口外有大量的漏點,甚至是進氣口暴露大氣。

解決方法:①封住幹式無油真空泵的進氣口使泵運轉,如果不噴油的話,說明有漏點;

②排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥片。

幹式無油真空泵故障分别由不同的原因引起的,零部件損壞要及時的更換,防止引起大的故障。

油式真空泵

幹式真空泵溫度高一直是困擾用戶的大問題,解決這個問題首先要了解導緻這種問題出現的原因是什麼,進行總結然後做出技術處理。

一、原因

①風扇轉速低,風壓,風量小。電機功率大,工作電流大,發熱量大

②風扇葉片數較少,産生的風量小。

③真空泵電機所在母線電壓380V,由于電纜壓降及負荷分配不均,電機實際所加電壓隻有365V,電壓偏低造成運行電流大。

④電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力。


二、解決方法

電機功率、轉速是和真空泵相匹配的,不能更改。風扇安裝于電機主軸上,電機轉速決定了風扇轉速,也不可更換。增加風扇葉片數量雖能起到一定作用,但葉片數量增加後,動平衡不容易找,如找正不好,會引起電機振動增加。

将原風扇罩加長40cm,在裡面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機,軸流風機電機功率850W,轉速1489r/min,電壓380V。原風扇繼續保留。軸流風機服裝學校另設一路電源控制,軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動後及時啟動軸流風機運行,真空泵停運後30min停運軸流風機,以使主電機得到充分冷卻;定期清除電機上灰塵,保持電機散熱片清潔,增加其散熱能力;将幹式真空泵所在母線電壓調整為400V。

本文網址:http://www.maacq.com/news/356.html

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