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淺談幹式真空泵工作原理和類型選擇

淺談幹式真空泵工作原理和類型選擇

發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

幹式真空泵以高效的産品運用能力,效果更優,逐漸開拓了市場,發揮了自身的優勢,原理簡單易懂,滿足大家的需求。幹式真空泵運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連杆機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動),使氣缸内的活塞作往複運動。當活塞在氣缸内從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強不斷的降低,當左腔空間内的壓強低于被抽容器内的壓強,根據氣體壓強平衡的原理,被抽容器内的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔,此時正處于吸氣過程。


當活塞達到最右位置時,氣缸左腔内就充滿了氣體。接着活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥自動關閉。氣體随着活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸内的氣體達到排氣壓力時,此時排氣閥被打開,氣體被排出,完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時,重複上述循環,直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。幹式真空泵原理簡單,使用優勢多,促進了産品的整體應用效果,開拓了應用市場。


使用适當型号的幹式真空泵解決了原有機械機械真空泵無法解決的兩大問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響産品的質量、數量,增加設備的維護成本。


二是由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵内的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。我公司産品型号齊全,大緻可分為:

1、雙圓裂片式。其設計和目前最流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早期的幹泵設計思想就是将羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當複雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了内部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

油式真空泵

2、内部壓縮型螺杆式。除了使用一對非等距螺杆以外,内部壓縮型螺杆式設計和外部壓縮型螺杆式設計的基本原理非常相似。螺杆間容積的不斷減小使得其内部産生壓縮。這種設計由于産生内部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種内部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體内的物理化學變化而産生固化或液化。


3、組合式(羅茨+爪)。設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家将其最後一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中将氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以将其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。


4、三葉圓裂片式。此種幹式真空泵設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,隻是在旋轉一圈中将氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有着相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導緻扭矩減小,重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。


5、外部壓縮型螺杆式。使用一對等距螺杆。這使得内部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣,氣體在幹式真空泵體内停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了内部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多複雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

本文網址:http://www.maacq.com/news/353.html

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