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幹式真空泵的應用範圍有哪些

幹式真空泵的應用範圍有哪些

發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

幹式真空泵的應用非常廣泛,主要有以下幾個方面,下面小編帶伱了解一下幹式真空泵的應用範圍和場景:

1)多晶矽制備過程中的低壓化學氣相沉積;

2)半導體蝕刻工藝。 在這些制造過程中經常使用或産生腐蝕性氣體和磨粒;

3)除半導體工藝外,部分工藝過程産生的顆粒,不希望顆粒與泵油混合,希望顆粒從泵内排出,用一定類型的幹式機械真空泵達到要求;

4)在化學工業,醫藥工業,食品工業的蒸餾,幹燥,消泡,包裝,防止有機溶劑引起的污染,适合與幹式真空泵配套使用;

5)用作普通無油清洗真空系統的前級泵,防止油污染。


幹式真空泵主要有以下幾種形式:

雙圓片

雙盤設計與當今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早的幹泵設計是羅茨泵的堆疊。這種多級設計使得氣路非常複雜,并且需要在每個階段有更大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。同時,為了達到好的真空度,對各級的通關要求也是非常嚴格的。當然,由于内部壓縮比的增加,這種設計使其功耗相對較低。


三葉草裂片

苜蓿葉形分割設計與雙分割設計相同,隻是氣體在一次旋轉中被分成三部分而不是兩部分。兩種設計都有相同的優點和缺點。為了進一步降低功耗,一些廠商在選擇兩個直流電機的傳動部分,但這也會導緻轉矩減小,重新啟動 - 下降的能力。與雙盤設計一樣,三葉草設計的每個階段都需要較大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。

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組合(根+爪)

組合(根部+爪部)與根部一起設計,以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節所述完全相同。一些廠家将最後的水平設計成明星,這樣的氣體可以分為五個革命,就像三個圓形的分割設計可以分成三個。同樣,在許多過程中,組合設計的每個階段需要更大量的氮氣流作為稀釋和隔離。


外部壓縮式螺絲

在外部壓縮式螺絲設計中,使用一對等距的螺絲。這使内部壓縮最小化,同時保持氣路最短和最簡單。這樣,氣體可以在最短的時間内停留在泵體内。盡管這種設計由于其内部壓縮比降低而導緻功耗相對較高,但在許多複雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得氮氣需求非常小且簡單,這使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過程中,您甚至可以消除氮氣。


内部壓縮式螺絲

除了使用一對非等距的螺絲外,内壓螺絲設計和外壓螺絲設計的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其内部産生壓縮。 由于内部壓縮,該設計将功耗降至與多級泵相當的水平。 然而,在許多工藝中,這種内部壓縮,就像多級泵一樣,很容易造成氣體在泵體中發生物理和化學變化而凝固或液化。

本文網址:http://www.maacq.com/news/346.html

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